【令和5年度優秀賞】半導体ウエハ微小応力検査機の開発

製品・技術名

半導体ウエハ微小応力検査機の開発

製品・技術紹介動画

• 製品紹介動画（外部リンク）

企業名

株式会社ルケオ

株式会社ルケオは、1966 年に偏光板の専門メーカーとして板橋区で創業し、50 年以上に渡り光学事業に従事。

この間、独自の技術を駆使して、自社ブランドの偏光板や波長板の光学素子を始め、光学ユニットや光学検査機器を製造し、国内はもとより、世界各国に販売して来た。

設計から生産まで一貫して行っているため、開発段階から光学に関する困りごとの解決をサポートでき、お客様のニーズに合わせた製品を小ロットから安定供給できることが強み。

• 株式会社ルケオ（外部リンク）

受賞製品・技術について

シリコン（Si）、SiC およびGaN の微小な残留応力を検査可能にする半導体ウエハ微小応力検査機である。
Si ウエハに対応できる他社製従来品は1 点測定であり、測定範囲全面を計測するのに測定ピッチによるが10 分～数十分かかってしまう。

当社開発品は、カメラを利用した面一括測定であるため測定時間は、20 秒以下と短時間である。

また、販売価格は競合他社の約2/3 という価格を実現した。

ウエハの研磨ムラやノッチ周辺の残留応力検査にも対応可能であるため、半導体ウエハの研磨装置メーカー様、ダイシング装置メーカー様などの装置の加工条件の検討に有効な検査機として活躍が見込める。