【令和6年度審査委員賞】位相シフトを利用したφ300mm大口径平面干渉計

製品・技術名

位相シフトを利用したΦ300mm大口径平面干渉計

製品・技術紹介動画

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企業名

株式会社清原光学

株式会社清原光学は、1949年に設立された総合光学メーカーで、設計から開発・製造まで一気通貫したサービスを提供しており、幅広い分野で利用されております。特にレーザー光を使用した光計測分野で高い評価をいただいており、お客様の声に応じた干渉計やアクセサリーを製造販売しています。また、光学部門に対するコンサルティング業務を通じて、光学技術に関する幅広いサポートを提供しております。

• 株式会社清原光学（外部リンク）

受賞製品・技術について

清原光学は、お客様の大口径平面度測定ニーズに応えるため、Φ300mm干渉計を開発しました。従来のΦ200mm（8インチ）口径に加えて、新たな干渉計をラインナップしました。
特徴
（1）Φ300mmまでの研磨されたサンプルの平面度測定が可能
　用途： Φ300mmミラー、ウエハー、半導体製造装置の機構部品など大型で精密な部品の平面度計測に活用される製品
（2）新規に自社開発した干渉縞解析ソフトウェア「KoptPhase」の搭載により、高精度測定が実現
（3） 位相シフト測定に加え、キャリアフリンジ法の搭載により測定中の振動の影響を受けにくいため、加工現 場への設置に最適
※弊社はデモ機を有しておりますので、お客様のサンプル測定が可能です。ぜひお問い合わせ、ご相談ください。